截至13:23，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏（588170）上漲0.59%，半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏（562590）上漲0.55%，沖擊三連漲。

熱門個股方面，新益昌上漲7.16%，華興源創(chuàng)上漲5.88%，中船特氣上漲5.27%，中科飛測上漲3.67%，拓荊科技上漲2.48%。

流動性方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏盤中換手7.72%，成交6.61億元；半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏盤中換手4.1%，成交1.08億元。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏近1周規(guī)模增長3.08億元，實現(xiàn)顯著增長，新增規(guī)模領(lǐng)先同類；半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏最新規(guī)模達26.22億元。

資金流入方面，半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏最新資金凈流出3763.77萬元。拉長時間看，近9個交易日內(nèi)，合計“吸金”2048.75萬元。

消息面上，據(jù)華海清科消息，近日，華海清科面向先進存儲的新型12英寸晶圓減薄裝備Versatile-GH300首臺裝備正式出機，發(fā)往國內(nèi)集成電路制造龍頭企業(yè)。該機型的推出標志著華海清科減薄系列裝備矩陣進一步完善，是公司在高端減薄領(lǐng)域的重要戰(zhàn)略布局。Versatile-GH300不僅能夠滿足三維集成技術(shù)對超精密加工的超嚴苛要求，更為產(chǎn)業(yè)技術(shù)迭代與快速發(fā)展提供有力支撐。

招商證券指出，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場景氣度持續(xù)上行，關(guān)注卡位良好的設(shè)備公司。2026年4月美國MATCH法案擬禁止向中國銷售DUV光刻機及低溫刻蝕設(shè)備，進一步強化供應(yīng)鏈自主可控需求。SEMI已上調(diào)2025年全球晶圓制造設(shè)備銷售額預(yù)測至1157億美元，并對2026~2027年保持樂觀，其核心驅(qū)動力來自DRAM與HBM投資超預(yù)期及中國市場的持續(xù)擴產(chǎn)。2025Q3中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場銷售額達145.6億美元，同環(huán)比均實現(xiàn)顯著增長。海外頭部設(shè)備廠在先進邏輯與存儲方面的在手訂單強勁。展望2026年，國內(nèi)先進邏輯和存儲產(chǎn)線擴產(chǎn)有望提速，國內(nèi)設(shè)備技術(shù)水平持續(xù)突破，國產(chǎn)化率將迎來從1到N的大規(guī)模提升階段，前道及后道先進封裝設(shè)備訂單增長趨勢明確。

相關(guān)ETF：科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）：跟蹤指數(shù)是科創(chuàng)板唯一的半導(dǎo)體設(shè)備主題指數(shù)，其中先進封裝含量在全市場中最高（約50%），聚焦于科技創(chuàng)新前沿的硬核設(shè)備公司。

半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356；C類：020357）：跟蹤中證半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)，其中半導(dǎo)體設(shè)備的含量在全市場指數(shù)中最高（約63%），直接受益于全球芯片漲價潮對“賣鏟人”（設(shè)備商）的確定性需求。