2月5日午后，大盤回暖，半導體板塊明顯反彈，中證半導體材料設備主題指數率先翻紅。截至14:10，上漲0.4%，指數成份股中，珂瑪科技漲超9%，芯源微漲超6%，金海通、天岳先進漲超3%，中科飛測、中微公司漲超2%，半導體設備ETF易方達（159558）盤中凈申購達1000萬份。

中信證券認為，面對國內百萬片級的先進產能缺口，國內晶圓廠正迎來擴產熱潮，為設備市場釋放出千億美元的空間，且國產化率有望實現翻倍增長，看好半導體設備的投資機遇，關注具備平臺化能力的領軍企業及高彈性細分龍頭。

中證半導體材料設備主題指數聚焦半導體設備與半導體材料領域，根據申萬三級行業分類，指數半導體設備占比超60%，半導體材料占比約20%，權重股覆蓋中微公司、北方華創、拓荊科技、長川科技、華海清科等行業龍頭，在國產化趨勢中具備較強彈性，投資者可通過半導體設備ETF易方達（159558）等跟蹤該指數的產品精準捕捉產業發展機遇。