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蘇大維格:常州維普光掩模缺陷檢測設備已進入多家頭部廠商量產線

每日經濟新聞 2026-01-20 19:16:50

每經AI快訊,1月20日,蘇大維格在投資者關系活動中表示,常州維普主營業務為光掩模缺陷檢測設備和晶圓缺陷檢測設備的研發、生產與銷售,是國內極少數實現光掩模缺陷檢測設備規模化量產的企業之一,其產品已進入中芯國際、路維光電、清溢光電、龍圖光罩等國內頭部晶圓廠及掩膜版廠商的量產線,核心技術和零部件實現自主可控。

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