截至9月1日10:08，上證科創板半導體材料設備主題指數上漲0.51%，領漲半導體板塊，成分股華興源創上漲8.10%，滬硅產業上漲3.13%，華峰測控上漲2.79%，明志科技上漲2.49%，先鋒精科上漲1.70%。科創半導體ETF（588170）上漲0.49%，最新價報1.24元。

規模方面，科創半導體ETF最新規模達5.01億元，創近3月新高，規模增長194%。

公開信息顯示，科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中半導體設備（59%）和半導體材料（25%）細分領域的硬科技公司。半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。