截至5月16日11:25，中證半導體材料設備主題指數上漲0.18%，成分股中科飛測上漲1.75%，江豐電子上漲1.43%，耐科裝備上漲1.27%，中晶科技上漲1.15%，安集科技上漲0.94%。半導體材料ETF（562590）上漲0.09%，最新價報1.07元。拉長時間看，截至5月15日，半導體材料ETF今年以來累計上漲1.23%。

份額方面，半導體材料ETF最新份額達2.98億份，創近1月新高。

從資金凈流入方面來看，半導體材料ETF近5天獲得連續資金凈流入，最高單日獲得542.63萬元凈流入，合計“吸金”1518.57萬元，日均凈流入達到303.71萬元。

中泰證券認為，國產化大背景下，整體設備公司2025Q1季末合同負債環比增長，預示未來成長動力。2025Q1季末，中微公司、拓荊科技、芯源微等合同負債較2024Q4季末環比增長分別為19%、26%、22%，顯現設備公司在手訂單及2025Q1新簽訂單的增長，其背后是國產晶圓廠積極導入國產設備帶來下單量的增加。北方華創主要受客戶下單季節性影響，2024Q3季末合同負債環比下降13%。長川科技、華峰測控合同負債環比大幅上漲。長川科技2025Q1季末合同負債環比增長76%，華峰測控2025Q1季末合同負債環比增長44%，顯現2025Q1簽單動能進一步增強；金海通2025Q1季末合同負債環比下降87%，系公司訂單到收入轉化周期較短，2025Q1客戶下單節奏影響公司當季確收及合同負債。

半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A：020356；C：020357）聚焦半導體設備、材料，合計權重在指數中占比超75%，全部都是直接受益于自主可控的重要設備與材料廠商，像北方華創這樣的A股半導體“盈利王”也位列其中。自去年下半年高點以來，指數整體處于震蕩回調狀態，仍有向上修復空間。截至5月13日，數據顯示，中證半導體材料設備指數市凈率為4.17倍，比上市以來73%的時間都要便宜。