截至2026年1月20日 11:15，中證半導體材料設備主題指數下跌0.26%。成分股方面漲跌互現，神工股份領漲10.63%，江化微上漲9.99%，華海誠科上漲8.87%；芯源微領跌4.07%，中微公司下跌2.81%，中船特氣下跌2.51%。半導體設備ETF華夏（562590）下跌0.44%。從資金凈流入方面來看，半導體設備ETF華夏近10天獲得連續資金凈流入，最高單日獲得3.65億元凈流入，合計“吸金”17.94億元，日均凈流入達1.79億元。

截至2026年1月20日 11:23，上證科創板半導體材料設備主題指數上漲0.15%，成分股神工股份上漲13.68%，華海誠科上漲12.02%，興福電子上漲7.27%，富創精密上漲4.50%，艾森股份上漲3.74%。科創半導體ETF（588170）上漲0.11%。從資金凈流入方面來看，科創半導體ETF近3天獲得連續資金凈流入，最高單日獲得9.88億元凈流入，合計“吸金”16.57億元，日均凈流入達5.52億元。

東吳證券預測，2026年AI驅動，國產半導體設備將開啟確定性強的擴產周期，全行業訂單增速或將超過30%。

相關ETF：公開信息顯示， 科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中 半導體設備（60%）和半導體材料（25%）細分領域的硬科技公司。 半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求，擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體設備ETF華夏（562590）及其聯接基金（A類：020356；C類：020357），指數中半導體設備（63%）、半導體材料（24%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。