截至2026年1月15日13:22，上證科創板半導體材料設備主題指數強勢上漲1.03%，成分股艾森股份上漲5.79%，芯源微上漲4.44%，和林微納上漲4.34%，興福電子，新益昌等個股跟漲。科創半導體ETF（588170）上漲0.87%。

截至2026年1月15日13:23，中證半導體材料設備主題指數強勢上漲1.51%，成分股南大光電上漲10.87%，三佳科技上漲9.99%，上海新陽上漲9.71%，矽電股份，艾森股份等個股跟漲。半導體設備ETF華夏（562590）上漲1.42%。

長期來看，國金證券表示，半導體設備是半導體產業鏈的基石，存儲擴產與自主可控共振，國產替代空間廣闊。半導體設備位于產業鏈上游，是支撐芯片制造與封測的核心產業。根據SEMI的數據，2025年上半年仍以33.2%的份額保持全球最大單一市場地位，國內設備龍頭業績表現亮眼，2025年前三季度八家龍頭公司合計營收同增37.3%，歸母凈利潤同增23.9%。隨著AI大模型驅動存儲技術向3D化演進，疊加長鑫、長存等國內存儲大廠擴產項目落地，國產半導體設備產業鏈有望迎來新一輪高速增長機遇。

相關ETF：公開信息顯示， 科創半導體ETF(588170)及其聯接基金(A類：024417；C類：024418)跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，是科創板中唯一精準布局半導體設備（60%）和半導體材料（25%）細分領域的指數。 半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求，擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體設備ETF華夏（562590）及其聯接基金（A類：020356；C類：020357），指數中半導體設備（62%）含量全市場最高，半導體材料（24%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。