截至2025年8月4日 13點15分，上證科創板半導體材料設備主題指數上漲0.72%，成分股富創精密上漲6.20%，京儀裝備上漲3.07%，晶升股份上漲2.35%，和林微納上漲2.01%，中芯國際上漲1.90%。科創半導體ETF（588170）上漲0.47%，最新價報1.06元。

規模方面，科創半導體ETF最新規模達4.09億元，創近3月新高。

份額方面，科創半導體ETF最新份額達3.89億份，創近3月新高。

從資金凈流入方面來看，科創半導體ETF近8天獲得連續資金凈流入，最高單日獲得1.18億元凈流入，合計“吸金”1.57億元，日均凈流入達1958.74萬元。

公開信息顯示，科創半導體ETF（588170）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中半導體設備（59%）和半導體材料（25%）細分領域的硬科技公司。半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。